ArF光刻机

ArF光刻机是DUV光刻机中的一种，而且是当前比较高端的范畴，193nm波长，有干式和沉浸式两种类型，又以后者为高端，ASML当前主力型号1980i、2000i就是这个级别的，也是国内这几年进口最多的光刻机类型。

不过尼康的ArF光刻机依然有可取之处，自身就有光学镜头研发，CD均匀性方面表现一直很好，而且现在打价格战，20-30%的低价意味着能节省大量投资，很适合晶圆厂作为ASML光刻机的低配版搭档使用。