高数值孔径

供应链也在同步扩，今年7月蔡司宣布扩建位于德国奥伯科亨的半导体制造技术工厂，新增约2.5万平方米空间，用来生产高数值孔径EUV所需的高精度光学系统和量测设备。

供应链也在同步扩，今年7月蔡司宣布扩建位于德国奥伯科亨的半导体制造技术工厂，新增约2.5万平方米空间，用来生产高数值孔径EUV所需的高精度光学系统和量测设备。