接地环

接地环是半导体蚀刻腔体中围绕上电极的最外层环形组件，负责稳定上电极电气状态、消散静电、控制等离子体分布，对维持晶圆良率至关重要。

快科技7月20日消息， 韩国半导体零部件厂商CMTX成为首家直接为半导体工厂提供超大单晶硅零部件的售后供应商，完成直径约590mm单晶硅接地环的原型生产