微纳加工技术

”曾中明告诉《中国科学报》，因此，纳米加工平台成立之初，就致力于建设成我国实力强大的微纳加工技术创新平台，以开放共享的姿态、真诚饱满的热情为半导体行业的发展注入新活力。

”苏州纳米所微纳加工技术创新团队负责人曾中明告诉记者，回望过往20年一次次突破技术垄断的艰辛历程，他颇为感慨，永远要有“吃得苦、霸得蛮”的精神。

”团队创始人张宝顺告诉《中国科学报》，他深刻感到，发展中国的芯片产业必须发展先进的微纳加工技术，“培养芯片高端制造的人才，支撑我国新一代信息技术的发展，并推动产业转型升级。

团队提出一个大胆的想法：建立一个我国工艺先进的微纳加工技术公共平台，成为技术创新和人才培养的“基地”。