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叠层衍射成像

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技术

”徐月暑介绍道，叠层衍射成像技术不仅能得到样品的吸收图像，还能获取相位信息，从而还原出样品的深度或者高度信息，实现纳米级的高度测量。

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优势

徐月暑介绍，叠层衍射成像的优势在于，它绕过了极紫外透镜制造的难题。

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