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传统光刻
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工艺
为了克服
传统光刻
工艺的固有局限,港科大王蕴达团队提出了一种创新的图案转移方法:利用一种粘附特性可逆切换的相变聚合物,将多种图案化的商用光刻胶精准转移至先前不兼容的各类基底上,实现了非常规表面的高分辨图案化。
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该策略有效突破了
传统光刻
工艺对敏感材料的兼容性限制。
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