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3纳米以下二氧化钛薄膜“变身”铁电材料

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科技日报讯（记者刘霞）美国科学家在最新一期《科学》杂志上发表研究成果称，将二氧化钛薄膜的厚度降至3纳米以下，便可将其转化为铁电材料。

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超薄二氧化钛薄膜可以采用原子层沉积技术，在低于400℃的低温下生长，而这项技术已被应用于最先进的芯片制造中。

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