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尖端区域精准沉积氧化铝

其它

该策略利用聚苯乙烯纳米球作为模板，在金字塔绒面硅衬底的尖端区域精准沉积氧化铝绝缘层，有效阻断了电学分流路径，具有良好的产业化应用前景。

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