从二手设备起家他们练就纳米科技的“绝活儿”
从二手设备起家 他们练就纳米科技的“绝活儿”
苏州独墅湖科教创新区内，藏着一个“大家伙”——中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）纳米加工平台。
一支136人的团队、超10000平方米的实验空间、300余台套国际先进设备、支撑了100余项国家重大科研任务攻关……在微纳米尺度间精雕细琢，他们练就了一手纳米科技的“绝活儿”。
“把线宽精度控制在纳米级，相当于在头发丝上刻出万里长城的纹路。”苏州纳米所微纳加工技术创新团队负责人曾中明告诉记者，回望过往20年一次次突破技术垄断的艰辛历程，他颇为感慨，永远要有“吃得苦、霸得蛮”的精神。
钱不够？二手设备也能用
当时针拨回2008年，我国半导体产业出现近20年来首次负增长。
“当时国外的芯片技术发展非常迅猛，而我国也面临着多样难题，技术人才也严重匮乏。”团队创始人张宝顺告诉《中国科学报》，他深刻感到，发展中国的芯片产业必须发展先进的微纳加工技术，“培养芯片高端制造的人才，支撑我国新一代信息技术的发展，并推动产业转型升级。”
要怎么实现这一目标呢？团队提出一个大胆的想法：建立一个我国工艺先进的微纳加工技术公共平台，成为技术创新和人才培养的“基地”。
说干就干。团队的想法得到中国科学院苏州纳米所的支持，但要想让这一“小目标”落地生根，还有不少难题摆在他们面前。
“首先就是钱。”张宝顺告诉记者，当时芯片行业发展滞缓，再加上芯片制造投入高、回报慢的特点，不少人都对芯片行业的发展持观望态度，“要找到足够的资金支持非常困难。”
很幸运的是：他们的想法得到了当地政府的大力支持。
“我们和江苏省和苏州工业园区交流后，对方非常认可这个想法，也愿意投入前期经费。”张宝顺告诉记者，拿到了首批6000万的“巨款”，纳米加工平台终于有了启动资金。“我们可以采购一些设备，慢慢搭建平台的‘骨架’了。”
由于半导体设备的价值普遍昂贵，为了能拥有更加多样的工艺能力，团队做了大量的调研工作，非常艰辛。
“没办法，我们从国外采购了一批别人淘汰的二手设备，再组织我们团队的工程师，自己慢慢摸索进行翻新。”想起十多年前筚路蓝缕的日子，张宝顺感叹，“这一优良传统延续到现在，我们也建成了一支具有芯片制造设备维修，维护和改造能力的队伍，成了纳米加工平台发展的中坚力量。”
有了设备，该找谁来使用呢？张宝顺又犯了难。“当时国家缺乏微纳加工技术相关人才，我们能给的工资也不高，只能去找一些刚毕业的年轻人，在动手实践的过程里慢慢摸索。”张宝顺说。
通过严格的选拔和手把手的培养，2009年，纳米加工平台建设完成正式对外开放，首批十余位成员担负平台的运行工作。
从1000到10000
荣获2025年全国先进工作者表彰的张晓东就是纳米加工平台的首批成员。
“引进人才是我们平台的第一步，也是最重要的一步工作。”张宝顺告诉记者，然而，首批成员中多数是刚毕业的硕士生和博士生，“没有足够的经验，我们就用‘师傅带徒弟’的方式，从知识到技能，手把手进行指导。”
同时，团队还定期聘请专家进行指导，让成员们及时迅速地学习微纳加工领域的前沿技术。“从新手到熟练人员的时间取决于不同人的态度和能力，但我们在培养中最重视的是对待工作的态度。”曾中明强调。
从面试环节，曾中明就格外重视寻找志同道合的人。“我们最看重的不只是能力，更重要的是对平台和团队文化的认可，这样才能培养真正团结奋进的队伍。”张晓东也是在师傅们的言传身教下，一边学、一边做，十余年如一日，慢慢从工艺员成长为技术骨干。
首批设备和成员就位，纳米加工平台开始有条不紊地开展工作。“我们坚信，我国未来一定会实现产业的智能化、数字化转型升级，微纳加工技术就是其中重点。”曾中明告诉《中国科学报》，因此，纳米加工平台成立之初，就致力于建设成我国实力强大的微纳加工技术创新平台，以开放共享的姿态、真诚饱满的热情为半导体行业的发展注入新活力。
但要想“致千里”，首个“跬步”就是“实现收支平衡，再扩大规模”，曾中明说，初期“不为人知”的纳米加工平台，客户多以大学老师、创业团队为主，帮助他们进行技术成果转化，慢慢地，纳米加工平台的名气越来越响。
后来，核心技术自主可控的重要性愈发凸显，一些大型企业也主动找到纳米加工平台，“2018年，纳米加工平台进入快速发展阶段。一个俄罗斯专家看到我们发表的论文主动来寻求合作，凭借过硬的技术、良好的交流和规划，我们成功拿到了这个国际合作项目。”曾中明自豪地说。
目前，纳米加工平台的超净实验室从建设初期的1000平方米扩展到目前的10000余平方米，各类半导体工艺加工设备300余台套，团队每年支撑数百家高校、科研院所和企业进行科学研究和技术开发，推动相关产业增加产值数十亿元。
“吃得苦、霸得蛮”
“吃得苦、霸得蛮”，这是曾中明的口头禅，也是他对微纳团队十多年攻关的概括。
“我们团队最看重成员的品德，我经常和大家说，要想把科研干好，必须提高自身素养。”曾中明告诉记者，团队始终坚信，只有拥有好的精神风貌，才能敏锐捕捉前沿科技，扎实做好当下功夫。
现在，除了“师傅带徒弟”的手把手教学外，曾中明还格外强调“学习和再教育”。“半导体制造行业，尤其是微纳加工技术发展、迭代非常迅速，如果不能在实践中学习，不能在工作中接受新的东西，很快我们的工艺技术就会落后。”曾中明正了正神色，所以微纳团队坚持定期邀请专家研讨，并将优秀的成员送出去培训，“培养年轻科研人员的动手能力和前沿科技视野。”
注重年轻人才培养，是曾中明的“先手棋”。
“在国家的高度重视下，我国微纳加工技术得到迅速发展，但目前制造设备、高端人才储备等方面仍有提升空间。”曾中明表示，尤其人才培养更关注书本能力，在动手实践方面稍显薄弱，“这也是我们团队重点攻关的方向。”
经过十余年的培养，以张晓东为代表的年轻一代科研人员逐渐成为团队骨干，以身作则传递着“劳模工匠”精神。
此外，曾中明还希望能进一步加强与相关企业的合作。“好技术不能藏在实验室里，要成为产业升级的‘催化剂’。”这也是团队始终秉持的服务理念。
“现在我们建成了国内开放程度最高、工艺能力领先、具有特色的纳米技术公共服务平台，涵盖半导体制造的多道工序，为新一代信息科技发展输送了大量高技术和高技能人才。”谈及十余年间团队的累累硕果，曾中明笑着说，“但我更希望大家能有吃苦耐劳、‘坐得住冷板凳’的精神，以及树立终身学习的目标。”
从2009年纳米加工平台正式向社会敞开怀抱，经历16载春秋，团队从十几人壮大到120余人，超净实验室从一层楼扩展到四层楼，营收从1000万增加到1.5亿，团队成员累计荣获“全国五一劳动奖章”“中国科学院关键技术人才”“江苏省绝技绝活”等各级荣誉称号50余人次。他的心里感慨万千。
“我希望未来能进一步提升我国微纳加工技术，让纳米加工平台真正成为全国，乃至全球具有重要影响力的纳米技术公共服务平台。”曾中明说，“这是我们始终坚持的愿景。”