恢复中国国籍！82岁中国刻蚀机之父：我们现在已经有能力来做最先进的设备
快科技5月17日消息，在央视财经最新播出的《对话》节目中， 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧公开表示：“我们现在已经有能力来做最先进的设备。”
他透露，2023年12月，中微决定进入大平板设备领域（此前大概有17种工艺设备全部依赖进口）。这种设备重达150吨，长15米宽15米，有两层半楼高。
按照尹志尧的经验，开发这样的设备至少需要3-7年。但中微的精锐团队只用12个月就从一张白纸做出了可运转的设备，不到4个月就达到客户下一代要求，18个月就运到生产线上并通过核准。
尹志尧被称为“中国刻蚀机之父”，在美国深耕数十年，手握几百项专利。 60岁时，他毅然放弃百万年薪回国创业，回国时，所有员工不许带文件，用空白电脑从头开始。
2004年初创至今，中微公司坚持自主创新，旗下多款等离子体刻蚀设备受到行业青睐。
22年后，中微公司市值突破2714亿元，设备进入台积电5nm、3nm先进制程供应链，他本人也恢复了中国国籍。
公开资料显示，1944年，尹志尧出生于北京，1962年考入中国科学技术大学化学物理系，1968年毕业后，先后供职于兰州炼油厂、中科院兰州物理化学所，积累了扎实的科研基础。
1978年至1980年，他在北京大学化学系攻读硕士，随后前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学，并获得物理化学博士学位，开启了在半导体领域的深耕之路。
在硅谷的二十年，尹志尧凭借卓越的科研能力，成为半导体行业的资深专家。1984年至1986年，他就职于英特尔中心技术开发部，担任工艺工程师；1986年至1991年，就职于泛林半导体，历任研发部资深工程师、研发部资深经理；1991年至2004年，就职于应用材料，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。
在应用材料公司工作期间，尹志尧获得了86项美国专利和200多项国际专利，被评价为“硅谷最有成就的华人之一”。