登录
已读文章 名词 现象 观点 问题 政要

压力传感器


分类

设计

堆叠式柔性电容压力传感器的设计与机电性能表征。
文章

结构

b堆叠式柔性压力传感器结构的俯视图与截面图；
文章

制备流程

a堆叠式柔性压力传感器的制备流程与整体结构；
文章

图2a、b展示了压力传感器的制备流程及分层结构：两个埋藏式叉指电容(IDC)与一个平行板电容(PPC)并联，构成IDC×2+PPC三维堆叠单元。
文章