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高数值孔径EUV

描述

高数值孔径EUV是传统EUV光刻的进阶版本，其物镜数值孔径从0.33提升至0.55，可在晶圆上实现更精细的图形刻画，并有望简化部分复杂的多重曝光工艺。

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