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“以钼代钨”


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近两年,全球存储芯片行业正经历一场材料革命:三星在286层3DNAND上率先完成钨到钼的切换,SK海力士在375层节点上紧密跟进——半导体存储芯片巨头的“以钼代钨”,是指在半导体制造,特别是3DNAND闪存工艺中,利用金属钼替代传统金属钨作为字线互连材料的技术变革。
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