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沉积


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SemiAnalysis估计,仅2027年一年,NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元,并随着DRAM和逻辑芯片的跟进,到2030年增长至约20亿美元/年。
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更进一步的,该机构提出,钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。
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该机构称,每一次从钨到钼的转换,都意味着需要新的沉积设备。
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沉积:成熟的WF钨工艺,Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口,同时有望减少阻隔层使用,带动沉积设备及配套工艺升级;
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“钼”成300层+NAND必选项机构:沉积设备迎10亿美元增量市场
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“钼”成300层+NAND必选项机构:沉积设备迎10亿美元增量市场“钼”成300层+NAND必选项机构:沉积设备迎10亿美元增量市场_东方财富网
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影响

该机构称,NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新,新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级,Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级,相关设备及零部件厂商有望受益。
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