硅-28
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硅烷特气
浙大团队国内首发硅-28硅烷特气与外延片:化学纯度达99.99998%,填补国内相关材料空白2026年10月22日15:54IT之家IT之家10月22日消息,浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队在上周举行的第二届量子科技前沿论坛上,国内首次发布了硅-28硅烷特气与4英寸硅-28外延片两项成果。
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经中国计量科学研究院检测,硅-28硅烷特气的硅-28同位素丰度为99.99576%,化学纯度为99.99998%。
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外延片
依托该特气,团队自主研制了4英寸硅-28外延片。
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