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光刻胶


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树脂

上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等多家合作单位,基于书生科学大模型与书生科学发现平台,构建起AI决策加自动化合成的全闭环研发体系,最终实现了高纯度、高一致性、高效率的KrF光刻胶树脂完全自主创制。
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目前这套自主搭建的研发平台,已经支撑完成了多批次的自动化合成与性能验证,不同批次产出的光刻胶树脂产品一致性得到了前所未有的显著提升。
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这项核心技术突破,彻底摆脱了此前高端光刻胶树脂的稳定制备长期依赖极少数海外供应商黑箱技术的被动局面,为全球芯片材料领域探索出了一条可标准化落地、支持技术快速迭代的全新研发路径。
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