LowNAEUV光刻机

现在不仅是LowNAEUV光刻机是出货的主力，下一代的HighNAEUV光刻机也会放量，Intel此前已经在18A工艺上就提前使用HighNAEUV生产芯片了，前不久宣布晶圆产量超过100万片。