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电镀设备业务也将迎来显著增量，在2026年至今的新签订单中，电镀设备占比约30%。

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ALD设备方面，公司已积累了一系列自主研发的具有全球知识产权保护的专利技术，以差异化创新工艺持续满足客户多样化需求；

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