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光刻机

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原型

对俄罗斯而言，130纳米分辨率步进式光刻机原型完成研发并通过验收，显然是一项新突破，此前其不具备这类光刻机的生产能力。

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效果

光刻机本身的制造成本估计为5.422亿卢布（约650万美元），两个激光器成本分别为4900万卢布和4600万卢布。

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