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中微

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设备

”丛海提到，中微设备能够兼容客户现有工艺，同时还具备其他优势，比如硅片表现更优越。

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此次展出

中微此次展出的的PrimoXD-RIE，瞄准的正是这类70∶1至90∶1的深孔工艺。

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因此

”丛海说，中微因此也在考虑泛半导体等更多应用市场。

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