创新性地提出了一种单晶金属

研究团队创新性地提出了一种单晶金属薄膜原位分步蒸镀技术（Step-Eva），利用热蒸发设备，通过原子级低剂量沉积与间歇停顿交替进行，有效降低成核密度、促进晶畴横向生长并合。