涂胶显影

公司获评国家级专精特新“小巨人”企业、制造业单项冠军企业，浸没式涂胶显影设备项目获中国集成电路创新联盟“IC创新奖-技术创新奖”。

前道涂胶显影设备：作为国内少数可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，产品涵盖Offline、I-line、KrF、ArF浸没式等工艺类型，持续获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单。

芯源微深耕半导体设备领域二十余年，已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。