干式真空泵

干式真空泵是半导体多个制程中的通用真空设备，应用场景覆盖单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程。

公告指出，该项目在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上实施，旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力，降低外协依赖，优化产品成本结构，提升整体盈利水平。