SA-CFET

SA-CFET的核心在于三个自对准工艺模块：SA-BPR（自对准埋入式电源轨）、SA-CT（自对准触点）和SA-TSV（自对准硅通孔）。

泛林集团探索SA-CFET架构，SRAM单元面积较N3缩小52.7%2026年10月05日06:55IT之家IT之家10月5日消息，随着先进制程不断向1nm及以下节点推进，传统GAA纳米片晶体管在漏电、迁移率、寄生电阻以及制造工艺波动等方面面临越来越大的挑战。

泛林集团介绍称，其SemiverseSolutions团队利用SEMulator3D数字孪生工艺建模，对SA-CFET架构进行了工艺流程和器件结构验证。

泛林集团的SA-CFET方案则是在此方向上探索自对准工艺集成路径的一项建模研究，其结论基于仿真验证，距离实际量产验证仍有待后续硬件数据支撑。