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电子束量检测设备

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电子束量检测设备是集成电路前道设备中技术难度最高的设备品类之一，市场被应用材料、日立高新、阿斯麦-汉民微测等国际龙头企业占据；

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与计算光刻软件

申报稿披露，东方晶源是全球最早倡导，也是迄今极少数将电子束量检测设备与计算光刻软件有机结合的公司。

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