高选择性刻蚀

芯片三维架构化是摩尔定律延续的重要路径，高选择性刻蚀是3D器件制造的核心工艺，该设备的落地，补齐国内GAA、3DNAND、3DDRAM等先进器件制造关键刻蚀工艺的自主短板。

芯片三维架构化是摩尔定律延续的重要路径，高选择性刻蚀是3D器件制造的核心工艺，该设备的落地，补齐国内GAA、3DNAND、3DDRAM等先进器件制造关键刻蚀工艺的自主短板。