祺力电子成功研发深紫外激光器：攻克“卡脖子”难题，实现国产替代进口
近日，珠海祺力电子科技有限公司宣布，其自主研发的高功率窄线宽深紫外激光器取得重大突破，成功解决了半导体前道晶圆检测核心光源长期依赖进口的“卡脖子”难题，实现了从核心光源到检测整机的垂直一体化国产替代。这标志着我国在半导体检测设备关键部件领域迈出了自主可控的关键一步。
长期以来，半导体检测设备中的高功率深紫外激光器被少数国外企业垄断，成为制约我国半导体检测产业升级的“卡脖子”环节。进口激光器不仅价格昂贵、交货周期长，而且在关键技术指标上受到严格限制，严重影响了国内半导体检测设备厂商的自主发展。
作为国家高新技术企业、省级专精特新中小企业，祺力电子始终专注于半导体检测领域的关键技术攻关。2024年，公司组建多学科交叉研发团队，以全固态激光技术为路线，聚焦266nm波段连续深紫外激光器的自主研发。经过持续攻关，团队在深紫外非线性晶体精密耦合、高稳定性谐振腔设计、精密温控封装等核心工艺上取得突破，成功研制出具有完全自主知识产权的固态深紫外激光光源。
据祺力电子技术负责人介绍，该激光器在光束质量、功率稳定性和输出寿命等核心指标上均达到国内先进水平，同时解决了波长漂移、长期功率衰减等行业共性难题。更关键的是，该激光器可直接配套于公司自研的半导体检测设备，实现了从光源到整机的全链条自主可控，大幅降低了对进口激光光源的依赖。
目前，祺力电子的紫外激光器产品已在国内多家半导体检测设备厂商和科研机构完成验证与试用，性能表现稳定，获得市场积极反馈。公司已累计申请多项发明专利和实用新型专利，形成了从核心器件到整机应用的完整技术保护体系。
在产业贡献方面，祺力电子紫外激光器的成功研发有效降低了国内半导体检测厂商对进口激光器的依赖，为下游企业提供了高性价比的国产化替代方案，有力推动了产业链整体降本增效。公司还积极开展产学研协同创新，与多所高校和科研机构建立联合研发和人才培养机制，为行业持续输送高端技术人才。
祺力电子表示，未来公司将继续以自主创新驱动产业生态构建，持续完善从核心光源到检测设备的国产替代方案，为推动我国半导体产业链自主可控贡献更多力量。