离子束工艺

离子束工艺装备开发需要多学科深度耦合，系统复杂性强、工程化know-how多且依赖技术+经验组合积累，且有专利与工艺秘密双重保护，技术壁垒极高，这导致过去高端离子源及离子束设备的国产化率不足10%，亟待国产化突破。