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HighNAEUV光刻机

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HighNAEUV光刻机是1.4nm节点之后必备的

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更重要的是，台积电这次还正式对下一代EUV光刻机的愿景做了回应，CEO魏哲家表示不会购买HighNAEUV光刻机。

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