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光学元件
效果
Chkhalo表示,11.2nm波长的分辨率提高了20%,可以提供更精细的细节,同时简化设计并降低
光学元件
的成本。
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这种调整显著减少了
光学元件
的污染,延长了收集器和保护膜等关键部件的使用寿命。
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