三星发布与InGaO合作的亚10纳米DRAM突破,据报道关注0 a/0 b的采用
电子于7月完成了6代10纳米级工艺的1代1c DRAM 开发后,现正推进下一代 DRAM 技术。据 The Elec 报道, 三星 与 三星 先进技术研究院(SAIT)发布了一种实现亚10纳米 DRAM 的新方法,可能适用于0a和0b DRAM。
正如 韩国新闻 2024年底报道,三星计划于2025年发布第六代10纳米1c型HBM4DRAM处理器,随后于2026年推出第七代10纳米1维DRAM,并计划于2027年前推出首款亚10纳米0安DRAM。
《The Elec》援引的一位业内消息人士指出,虽然该技术仍处于研究阶段,且数年内难以进入三星的商业DRAM,但预计将针对10纳米以下的节点,如0a或0b DRAM。
InGaO发挥着关键作用
Elec指出,在旧金山举行的IEEE国际电子器件会议(IEDM)上,三星发布了一款“高热稳定性非晶氧化物半导体晶体管”,设计用于亚10纳米外围单元(CoP)垂直通道DRAM。
报道解释说,宣布的DRAM结构采用了CoP设计,将内存单元垂直堆叠在外围电路之上。正如 The Elec 先前指出的,存储单元下方的外围晶体管因堆叠过程中产生的 550°C 高温而受损,性能下降。然而,三星通过采用非晶铟-镓氧化物(InGaO)来克服了这一问题。
据The Elec报道,三星在此次活动中展示了首款采用非晶InGaO的高热稳定性垂直沟道晶体管(VCT),具有100纳米的通道长度,能够承受高达550°C的高温。 三星指出,该晶体管可以集成到单片的CoP DRAM架构中。
报告进一步解释,在氮气环境中将晶体管加热至550°C——这是标准的可靠性测试——该器件几乎没有性能损失。关键指示器称为阈值电压偏移,保持在0.1电子伏以下,意味着晶体管能像新一样继续工作。同样,流经该管的电流依然强劲,没有损坏迹象,报告补充道。
三星通过报告称,InGaO晶体管的耐热能力源于其紧密结合的原子结构,防止离子漂移并确保稳定性能。